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產品特性Product characteristics

專(zhuān)業儀(yí)器設備與(yǔ)測(cè)試(shì)方案供應商(shāng)——上海堅(jiān)融實業(yè)有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 堅友（上(shàng)海）測量儀器(qì)有(yǒu)限(xiàn)公(gōng)司(sī)JETYOO INSTRUMENTS，為原安捷倫(lún)Agilent【現(xiàn)是(shì)德KEYSIGHT】品牌技(jì)術經(jīng)理-堅JET與吉時(shí)利KEITHLEY【現(xiàn)泰克Tektronix】品牌產品(pǐn)經理(lǐ)-融(róng)YOO於2011年共同創(chuàng)辦(bàn)，專注(zhù)工(gōng)業(yè)測試領(lǐng)域(yù)十六(liù)年，誌在破舊立(lì)新！*進(jìn)口(kǒu)儀(yí)器設(shè)備(bèi)大多(duō)數廠家僅(jǐn)在(zài)國內設銷(xiāo)售點(diǎn)，但技術支持薄弱甚至沒有(yǒu)，而代理經(jīng)銷(xiāo)商也隻做商務(wù)，不做(zuò)售前(qián)技術支持/測(cè)試(shì)方(fāng)案和售後使用培(péi)訓/維(wéi)修(xiū)校(xiào)準(zhǔn)的空白。我(wǒ)們的技術型銷(xiāo)售(shòu)均(jūn)為本科以(yǐ)上(shàng)學(xué)歷(lì)，且(qiě)均(jūn)有10年以(yǐ)上(shàng)測(cè)試(shì)行業經驗，以我們*進*的(dí)經(jīng)營(yíng)理念，與客(kè)戶(hù)互(hù)惠(huì)互利(lì)合作(zuò)雙贏，重(zhòng)在協(xié)助(zhù)用(yòng)戶采(cǎi)購與技術(shù)工程師的(dí)工(gōng)作，提(tí)供較有競(jìng)爭(zhēng)力的供應(yīng)鏈管理與售(shòu)前售後(hòu)技術支持。堅融實業(yè)——一家致(zhì)力於(yú)為(wéi)祖國用戶提供上(shàng)海蘇州(zhōu)杭州合(hé)肥南(nán)京高低(dī)溫(wēn)真空探針台儀(yí)器設備(bèi)，測試(shì)方(fāng)案，技(jì)術培訓，維(wéi)修計(jì)量全麵服務(wù)的儀器(qì)設備綜合服務商(shāng)。

上海(hǎi)蘇州杭州(zhōu)合肥南(nán)京(jīng)高(gāo)低溫(wēn)真空(kōng)探(tàn)針(zhēn)台測試(shì)係(xì)統特(tè)點/應(yīng)用

2至(zhì)6英寸樣(yàng)品(pǐn)台

高真(zhēn)空(kōng)腔(qiāng)體(tǐ)

防輻(fú)射(shè)屏(píng)設(shè)計，樣(yàng)品(pǐn)溫(wēn)度(dù)均(jūn)匀性更好

77K-675K高低溫環境(jìng)

兼容IV/CV/RF測試

外(wài)置多(duō)探針臂，移動行程大

經濟(jì)實用，可無(wú)縫(féng)升(shēng)級(jí)

極低溫測(cè)試(shì)

因(yīn)為(wéi)晶圓在(zài)低(dī)溫(wēn)大(dà)氣環(huán)境測試(shì)時，空氣中的(dí)水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓(yuán)上，會導致(zhì)漏(lòu)電過大或(huò)者探(tàn)針無法(fǎ)接觸電(diàn)極而使(shǐ)測(cè)試(shì)失敗。避(bì)免(miǎn)這(zhè)些(xiē)需要把真(zhēn)空(kōng)腔內(nèi)的(dí)水汽在測(cè)試前用泵抽(chōu)走(zǒu)，並且(qiě)保(bǎo)持整個測試過程(chéng)泵(bèng)的(dí)運(yùn)轉。

高溫無氧化測(cè)試(shì)

當(dāng)晶(jīng)圓加熱(rè)至(zhì)300℃,400℃,500℃甚至(zhì)更高溫(wēn)度時(shí)，氧(yǎng)化(huà)現象(xiàng)會越來越(yuè)明顯，並(bìng)且溫度越高氧(yǎng)化越嚴重。過度氧化會導(dǎo)致(zhì)晶圓電(diàn)性誤差，物理(lǐ)和機(jī)械形變(biàn)。避免這(zhè)些需要把真空腔內的(dí)氧(yǎng)氣在(zài)測試前(qián)用(yòng)泵(bèng)抽走，並且保(bǎo)持整(zhěng)個測(cè)試過程泵(bèng)的運轉。

晶(jīng)圓(yuán)測試過(guò)程(chéng)中(zhōng)溫度在(zài)低(dī)溫和(hé)高溫中(zhōng)變(biàn)換(huàn)，因為熱(rè)脹冷縮(suō)現象(xiàng)，定位(wèi)好(hǎo)的(dí)探針與器(qì)件電極間(jiān)會有相對(duì)位移(yí)，這時需(xū)要(yào)針座的重新定(dìng)位(wèi)，針座位(wèi)於腔(qiāng)體外部(bù)。我們(mén)也(yě)可(kě)以選擇使用操(cāo)作杆控(kòng)製的自動化針(zhēn)座來調(tiáo)整(zhěng)探(tàn)針的位(wèi)置。

腔體規(guī)格

樣(yàng)品台尺寸：2英寸/4英寸/6英(yīng)寸

樣品固(gù)定：彈(dàn)簧(huáng)壓片

觀察窗口(kǒu)：2英寸/4英寸(cùn)/6英(yīng)寸

真空(kōng)度：10-6torr

探針臂接口(kǒu)：4~6個(gè)探針臂(bì)接口(kǒu)

其他接口：電(diàn)信接(jiē)口(kǒu)，真(zhēn)空接(jiē)口(kǒu)，光(guāng)纖(xiān)接(jiē)口(kǒu)，冷(lěng)源接口(kǒu)

製冷方式：液氮/液氦/製(zhì)冷機

溫度範(fàn)圍：77K到573K/4.5K到573K

溫(wēn)控精(jīng)度(dù)：0.1K/0.01K/0.001K

穩定性(xìng)：±1K/±0.1K/±0.01K

外(wài)形：880mm長(cháng)*880mm寬(kuān)*600mm高/980mm長(cháng)*980mm寬*600mm高(gāo)

重(zhòng)量：約100千(qiān)克/120千(qiān)克

光學係統(tǒng)

顯微(wēi)鏡類型(xíng)：單筒顯(xiǎn)微(wēi)鏡/體式顯微(wēi)鏡/金(jīn)相顯(xiǎn)微鏡(jìng)

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移(yí)動行(háng)程(chéng)：水(shuǐ)平(píng)360度轉，Z軸行程50.8mm

光(guāng)源：外置(zhì)LED環形光源/同軸光源

CCD：200萬(wàn)像素/500萬像(xiàng)素/1200萬像(xiàng)素(sù)

探針(zhēn)臂

X-Y-Z移(yí)動行(háng)程：50mm*50mm*50mm

結(jié)構：外置(zhì)探(tàn)針臂，真空波紋(wén)管(guǎn)結構(gòu)

移動精(jīng)度(dù)：10微米/1微米(mǐ)

綫纜(lǎn)：同(tóng)軸(zhóu)綫(xiàn)/三軸綫(xiàn)/射頻(pín)綫(xiàn)

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定(dìng)探(tàn)針：彈(dàn)簧固定(dìng)/管(guǎn)狀固(gù)定(dìng)

接頭類型：BNC/三軸/香(xiāng)蕉頭(tóu)/鱷(è)魚夾(jiā)/接綫端子(zǐ)

頻率支持(chí)：DC-67GHZ

針尖直(zhí)徑：0.5微米(mǐ)/1微米(mǐ)/2微米/5微(wēi)米/10微(wēi)米(mǐ)/20微(wēi)米

其他(tā)組件(jiàn)

真空組件

分子泵組/機械泵/離子(zǐ)泵(bèng)

冷源組件(jiàn)

50L/100L液氮(dàn)罐/液氦(hài)罐/製冷(lěng)機(jī)

可選附(fù)件(jiàn)

超高溫配(pèi)件(jiàn)

顯示器

轉接(jiē)頭

射(shè)頻測(cè)試(shì)配(pèi)件

屏蔽箱

光學平台

鍍金(jīn)卡盤

光電(diàn)測試(shì)配件

高(gāo)壓測試(shì)配件

分(fēn)子泵(bèng)組

激(jī)光(guāng)係(xì)統

氣敏測試(shì)配件(jiàn)

上(shàng)海蘇(sū)州杭州(zhōu)合肥(féi)南京(jīng)高(gāo)溫加熱探針(zhēn)台係(xì)統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用

最大(dà)可(kě)用(yòng)於8英寸以(yǐ)內樣(yàng)品(pǐn)測試(shì)

同(tóng)軸絲杠傳動結(jié)構，綫性移動

可(kě)滿足500度(dù)高溫(wēn)測試(shì)

溫度穩(wěn)定(dìng)性高(gāo)

兼容IV/CV/RF測(cè)試

結構設(shè)計簡單合理，操(cāo)作(zuò)方便(biàn)

探針(zhēn)台可根據客戶要求(qiú)定(dìng)製

台體(tǐ)規格

樣品(pǐn)台尺寸(cùn)：4英寸/6英寸(cùn)/8英(yīng)寸(cùn)

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉，可微調(tiáo)15度，精(jīng)度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程(chéng)：4英寸*4英(yīng)寸(cùn)/6英寸*6英寸(cùn)/8英寸*8英(yīng)寸

X-Y移(yí)動(dòng)精(jīng)度(dù)：10微(wēi)米(mǐ)/1微(wēi)米

樣品固定：真(zhēn)空(kōng)吸附，中(zhōng)心吸附孔(kǒng)，多(duō)圈吸附(fù)環

針座平(píng)台(tái)：U型針(zhēn)座平台(tái)，最(zuì)多(duō)可放置8個探針(zhēn)座(zuò)

背電極測試：樣品(pǐn)台(tái)電學(xué)獨立懸空，4mm插(chā)孔可(kě)接背(bèi)電(diàn)極

溫度範圍：室溫(wēn)到300度/室溫到400度(dù)/室(shì)溫(wēn)到(dào)600度

溫控精度(dù)：1度(dù)/0.1度/0.01度(dù)

穩(wěn)定(dìng)性(xìng)：±1度/±0.1度(dù)

外(wài)形尺(chǐ)寸：400mm長*400mm寬*600mm高(gāo)/580mm長(cháng)*480mm寬(kuān)*600mm高/840mm長*600mm寬(kuān)*700mm高(gāo)

重(zhòng)量：約(yuē)30千克(kè)/60千克(kè)/100千克

光學係統

顯(xiǎn)微(wēi)鏡類型：單(dān)筒(tǒng)顯微(wēi)鏡(jìng)/體(tǐ)式顯微鏡(jìng)/金(jīn)相顯(xiǎn)微鏡

放大倍(bèi)率：16X-200X/20X-4000X

移(yí)動(dòng)行(háng)程(chéng)：X-Y軸行(háng)程2英寸(cùn)*2英(yīng)寸/水(shuǐ)平(píng)360度旋(xuán)轉，Z軸行(háng)程(chéng)50.8mm

光(guāng)源(yuán)：外(wài)置(zhì)LED環形(xíng)光(guāng)源(yuán)/同(tóng)軸光源

CCD：200萬(wàn)像素(sù)/500萬像(xiàng)素(sù)/1200萬像素

定位(wèi)器

X-Y-Z移動行(háng)程(chéng)：12mm*12mm*12mm

移動精度(dù)：10微米(mǐ)/2微(wēi)米/0.7微(wēi)米(mǐ)/0.5微米

吸附方式(shì)：磁力(lì)吸(xī)附/真空吸(xī)附

綫纜(lǎn)：同軸綫(xiàn)/三軸綫(xiàn)

漏(lòu)電精(jīng)度(dù)：10pA/100fA/10fA

固定(dìng)探針：彈(dàn)簧(huáng)固定/管狀(zhuàng)固(gù)定(dìng)

接(jiē)頭(tóu)類型(xíng)：BNC/三(sān)軸(zhóu)/香蕉頭/鱷(è)魚夾(jiā)/接綫端子

針(zhēn)尖直(zhí)徑：0.2微米/1微米(mǐ)/2微米/5微米(mǐ)/10微(wēi)米/20微(wēi)米

針尖(jiān)材質(zhì)：鎢鋼(gāng)/鈹(pí)銅

可選(xuǎn)附(fù)件

水冷(lěng)裝置

顯示(shì)器

轉(zhuǎn)接頭(tóu)

射(shè)頻測試(shì)配件(jiàn)

屏蔽箱(xiāng)

光學平(píng)台(tái)

鍍(dù)金卡盤

光(guāng)電(diàn)測(cè)試配件

高壓測試配(pèi)件(jiàn)

顯微鏡快(kuài)速傾(qīng)仰裝(zhuāng)置(zhì)

激光(guāng)係統

探針卡(qiǎ)夾具

上海(hǎi)蘇(sū)州杭(háng)州(zhōu)合肥(féi)南(nán)京高低溫探針台測試係(xì)統特點/應用(yòng)

最(zuì)大(dà)可用(yòng)於(yú)12英(yīng)寸以(yǐ)內(nèi)樣品測(cè)試

采(cǎi)用密閉(bì)腔結構(gòu)，屏蔽(bì)外部(bù)電(diàn)信幹擾(rǎo)同(tóng)時(shí)保持氮(dàn)氣正壓(yā)環境下(xià)樣(yàng)品在(zài)低(dī)溫(wēn)時無(wú)結霜

優化(huà)的腔體保(bǎo)溫(wēn)結構可(kě)以(yǐ)極(jí)大的減少(shǎo)液(yè)氮(dàn)消(xiāo)耗(hào)量

可(kě)升降調(tiáo)節適合加裝(zhuāng)探針(zhēn)卡(qiǎ)

可(kě)搭配多種類(lèi)型顯(xiǎn)微鏡(jìng)

結構(gòu)模塊化(huà)設計，可無(wú)縫(féng)升級(jí)

探針台(tái)可根(gēn)據客(kè)戶要(yào)求定製。

台(tái)體規格(gé)

樣品台尺寸：4英寸(cùn)/6英(yīng)寸/8英寸(cùn)

水(shuǐ)平旋轉(zhuǎn)：可(kě)360度旋(xuán)轉(zhuǎn)，可微(wēi)調(tiáo)15度，精(jīng)度0.1度，帶角(jiǎo)度鎖死(sǐ)裝置

X-Y移動(dòng)行(háng)程(chéng)：4英寸*4英(yīng)寸/6英寸*6英寸/8英(yīng)寸(cùn)*8英寸

X-Y移動(dòng)精度(dù)：10微米/1微(wēi)米(mǐ)

樣品固(gù)定：真空吸(xī)附，中心吸(xī)附孔(kǒng)，多圈吸附環(huán)

針(zhēn)座平台(tái)：U型針座平(píng)台，最多可放置(zhì)8個探針座

背電極(jí)測(cè)試(shì)：樣(yàng)品台(tái)電(diàn)學獨(dú)立(lì)懸空，4mm插孔(kǒng)可接背電極

溫(wēn)度(dù)範(fàn)圍(wéi)：室溫到(dào)300度(dù)/室(shì)溫(wēn)到400度/室溫到600度(dù)

溫控精度：1度(dù)/0.1度(dù)/0.01度(dù)

穩定性(xìng)：±1度/±0.1度(dù)

外形(xíng)尺寸：400mm長*400mm寬*600mm高(gāo)/580mm長*480mm寬*600mm高/840mm長*600mm寬(kuān)*700mm高

重(zhòng)量：約30千克/60千克(kè)/100千克(kè)

光學係統

顯(xiǎn)微鏡類(lèi)型：單筒顯微鏡(jìng)/體式顯(xiǎn)微鏡(jìng)/金相顯(xiǎn)微鏡

放大倍(bèi)率：16X-200X/20X-4000X

移(yí)動行程(chéng)：X-Y軸行程2英(yīng)寸*2英(yīng)寸/水平360度(dù)旋轉(zhuǎn)，Z軸行程(chéng)50.8mm

光(guāng)源：外(wài)置(zhì)LED環形(xíng)光源/同軸光(guāng)源

CCD：200萬(wàn)像素/500萬像素(sù)/1200萬像素

定位(wèi)器(qì)

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm

移(yí)動精(jīng)度(dù)：10微米(mǐ)/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附(fù)方式：磁(cí)力吸附(fù)/真(zhēn)空(kōng)吸(xī)附

綫(xiàn)纜：同(tóng)軸綫(xiàn)/三軸綫

漏(lòu)電(diàn)精(jīng)度：10pA/100fA/10fA

固定探針(zhēn)：彈(dàn)簧固定(dìng)/管狀(zhuàng)固(gù)定(dìng)

接頭(tóu)類(lèi)型：BNC/三(sān)軸(zhóu)/香蕉(jiāo)頭/鱷(è)魚夾(jiā)/接(jiē)綫(xiàn)端子(zǐ)

針(zhēn)尖直徑：0.2微米/1微米/2微米(mǐ)/5微(wēi)米/10微米/20微(wēi)米

針尖(jiān)材(cái)質(zhì)：鎢鋼(gāng)/鈹銅(tóng)

可選附(fù)件(jiàn)

加熱台

顯(xiǎn)示(shì)器(qì)

轉(zhuǎn)接頭

射(shè)頻測試(shì)配件

屏(píng)蔽箱

光(guāng)學平(píng)台

鍍金(jīn)卡(qiǎ)盤

光(guāng)電(diàn)測(cè)試配(pèi)件(jiàn)

高壓測(cè)試配(pèi)件(jiàn)

顯(xiǎn)微鏡快(kuài)速(sù)傾仰裝置

激(jī)光(guāng)係(xì)統(tǒng)

探針(zhēn)卡(qiǎ)夾具