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日(rì)期(qī):2014-07-03瀏覽(lǎn):4586次
上海堅(jiān)融(róng)實業(yè)I-V曲(qū)綫,C-V曲綫圖半導(dǎo)體器(qì)件特性(xìng)分析(xī)解(jiě)決(jué)方案
上海(hǎi)堅(jiān)融實業結合(hé)美(měi)國吉時利KEITHLEY4200-SCS成(chéng)功(gōng)推(tuī)出(chū)了(liǎo)I-V曲(qū)綫,C-V測(cè)綫(xiàn)半導體器件特(tè)性分析(xī)解(jiě)決(jué)方(fāng)案。當前對(duì)於(yú)實驗室研(yán)究的(dí)所(suǒ)有半(bàn)導體器(qì)件(jiàn),zui常見的電(diàn)特性分(fēn)析方(fāng)法是(shì):
I-V曲(qū)綫(xiàn)圖:電(diàn)流(liú)與(yǔ)電壓 (I-V) 測試顯(xiǎn)示了(liǎo)流過的直流(liú)電流和(hé)電子(zǐ)器件以(yǐ)及(jí)器件(jiàn)兩端直流(liú)電(diàn)壓(yā)之(zhī)間(jiān)的(dí)關係。
C-V測(cè)綫圖:電(diàn)容(róng)與(yǔ)電壓 (C-V) 測試(shì)用(yòng)於分析半導(dǎo)體(tǐ)材料和結構(gòu)參數,例如(rú)表麵俘獲(huò)電(diàn)荷密度,固定(dìng)電荷和氧化層電荷(hé)。
C-V 曲綫 (高頻:100kHz):
摻雜(zá)類(lèi)型(xíng) – 氧化(huà)層厚度(dù) – 平帶電壓 – 閾值(zhí)電壓(yā) – 襯底摻雜 – zui大耗(hào)盡(jìn)層寬(kuān)度(dù) – 反型層(céng)到(dào)平(píng)衡的靈(líng)敏(mǐn)度:電壓掃描率(shuài)和(hé)方向(xiàng) – 光效應和溫(wēn)度效應(yīng)。
I-V 曲綫(xiàn)分析:
電(diàn)荷建立(lì) (測量電壓 - 時(shí)間(jiān)圖,用(yòng)低(dī)電流(liú)源); 氧化(huà)層(céng)電容(róng)測定; 與(yǔ) C-V 曲(qū)綫(xiàn)比較(jiào)。
C-V 曲綫(xiàn) (準靜態) 結(jié)合(hé) C-V 曲(qū)綫:
表麵電(diàn)位(wèi) Ψs 與施(shī)加電(diàn)壓的(dí)關係 – Si (100) 的表麵(miàn)態密度 Dit = f (Ψs) 與(yǔ) Si (111) 的相(xiāng)比(bǐ):方向和後(hòu)處(chǔ)理退火(huǒ)的影響(xiǎng)。
C-V 曲綫 (高頻(pín):100kHz):
移動(dòng)氧化層電(diàn)荷密(mì)度 (偏壓溫度(dù)應力:200°C,10 分(fēn)鐘(zhōng),±10V)
半(bàn)導(dǎo)體器(qì)件(jiàn)實驗(yàn)室(shì)的核(hé)心(xīn)是參(cān)數分析(xī)儀(yí)。簡單(dān)易用(yòng)的(dí)4200-SCS半導體(tǐ)特(tè)性分析(xī)係統能進行(háng)實驗(yàn)室級(jí)的直(zhí)流和(hé)脈衝(chōng)器件特性(xìng)分析,實時繪製(zhì)以(yǐ)及(jí)高精(jīng)密(mì)和亞飛安分(fēn)辨率的分析。4200-SCS 結合(hé)了 4200-CVU 的集成選件,現(xiàn)能(néng)讓(ràng)半(bàn)導體(tǐ)測(cè)試用戶靈活(huó)地創建集(jí)成了(liǎo) DC,脈衝和 C-V 測試功能(néng)的(dí)方(fāng)案(àn)。與(yǔ)傳統模擬(nǐ)曲綫跟蹤軟(ruǎn)件非(fēi)常(cháng)類(lèi)似(sì),ACS 基(jī)礎版能(néng)快速產生(shēng)電(diàn)子器件(jiàn)或(huò)封裝產(chǎn)品的一係(xì)列(liè)曲(qū)綫,而(ér)且能靈活(huó),容(róng)易地(dì)對(duì)結果(guǒ)進(jìn)行保存(cún),比較和(hé)關聯。
4200-SCS半(bàn)導體特性(xìng)分(fēn)析特性:
測(cè)量(liáng)時(shí)間短 – 安裝(zhuāng)簡單(dān),直觀(guān)的測試(shì)選擇向(xiàng)導並且內建測試(shì);
無(wú)需編寫代(dài)碼 - ACS 具(jù)有直觀的(dí) GUI 能(néng)快(kuài)速簡(jiǎn)化(huà) I-V 測試,分(fēn)析和結(jié)果;
4200-SCS半導(dǎo)體(tǐ)優化(huà)器(qì)件測試(shì),驗(yàn)證(zhèng)和分析(xī)應用;
硬(yìng)件靈活性 – 動(dòng)態地加(jiā)入或移除設備(bèi)以(yǐ)滿足獨立測試的需(xū)要;
預(yù)裝應用(yòng)庫 – 一(yī)組極豐富的超快(kuài),易於(yú)訪(fǎng)問(wèn)的(dí)測試(shì)庫;
模塊(kuài)化的(dí)靈活(huó)軟(ruǎn)件架構便於(yú)擴(kuò)展係(xì)統並(bìng)使(shǐ)係(xì)統應(yīng)用能滿足的(dí)測試(shì)需(xū)要(yào);
免費可(kě)選後(hòu)台軟(ruǎn)件許(xǔ)可,能容(róng)易地在(zài)另一台PC上(shàng)開發新(xīn)的(dí)測(cè)試(shì)序列,無需掛起正(zhèng)在(zài)執(zhí)行工(gōng)作的係統。
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