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產品特(tè)性(xìng)Product characteristics

“精"——上海(hǎi)市先(xiān)JIN企(qǐ)業!

“專"——專(zhuān)注工(gōng)業測試(shì)十六年!

“特(tè)"——德(dé)國(guó)萊茵TUV認(rèn)證(zhèng)供(gōng)應(yīng)商!

“新(xīn)"——注冊(cè)資本實繳(jiǎo)壹仟萬(wàn)元!實繳(jiǎo)資(zī)金(jīn)行業中居前茅!抗(kàng)金融風險能力(lì)強(qiáng)!

TH513半(bàn)導體器(qì)件C-V特性分析儀  

性能特點(diǎn)

 一(yī)體(tǐ)化設(shè)計
：

    LCR+柵極電壓VGS

 +漏極(jí)電壓(yā)VDS

 +通道切(qiē)換+上(shàng)位(wèi)機(jī)軟件

• 柵(zhà)極電(diàn)壓(yā)VGS
：0 - ±40V

 • 漏極(jí)電壓VDS
：0 - ±200V/±1500V/±3000V

 • 單(dān)管器件（點(diǎn)測(cè)），模組(zǔ)器件（列(liè)表(biǎo)掃描(miáo)），曲綫掃描(miáo)(選件)

   三(sān)種(zhǒng)測(cè)試方式

• 四(sì)寄(jì)生(shēng)參數(shù)(Ciss，Coss，Crss，Rg或Cies，Coes，Cres，Rg)

   同(tóng)屏(píng)一(yī)鍵測量(liáng)及(jí)顯示

• 標配(pèi)2通道(dào)，可(kě)擴(kuò)展(zhǎn)至(zhì)6通道，可(kě)測(cè)單管，多芯或模組(zǔ)器件    （TH513僅(jǐn)1通道(dào)）

• CV曲(qū)綫掃(sǎo)描，Ciss-Rg曲(qū)綫(xiàn)掃(sǎo)描(miáo)

• 電容快(kuài)速(sù)充(chōng)電(diàn)技術，實現快(kuài)速測(cè)試(shì)

• 接(jiē)觸檢查(chá)Cont

 • 通斷測試OP_SH

 • 自動(dòng)延時設置

• Crss Plus功(gōng)能(néng)
：解(jiě)決高(gāo)頻下Crss負(fù)值問題

• 高壓(yā)擊(jī)穿保護
：DS瞬間(jiān)短路(lù)，保護儀(yí)器(qì)

• Interlock安(ān)全(quán)鎖(suǒ)功能
：增(zēng)加高壓防(fáng)護牆(qiáng)(僅(jǐn)TH513)

 • Cs-V功能(néng)
：二極管結(jié)電容CV特性(xìng)測(cè)試(shì)分析(xī)

• 等效模(mó)式轉換功能(néng)，可選Cs或(huò)Cp模式

• 10檔分選

TH513半(bàn)導體器件(jiàn)C-V特性(xìng)分析儀應用

• 半導(dǎo)體元件/功(gōng)率元件

   二極(jí)管(guǎn)，三(sān)極管(guǎn)，MOSFET，IGBT，晶閘管(guǎn)，集成(chéng)電(diàn)路，光電(diàn)子芯(xīn)片等(děng)寄生(shēng)電(diàn)容測(cè)試，C-V特性(xìng)分析(xī)

• 半導體材料(liào)

   晶圓，C-V特(tè)性分(fēn)析(xī)

• 液(yè)晶材(cái)料(liào)

   彈(dàn)性常(cháng)數分析

 標(biāo)配(pèi)RS232  √ USB HOST  √ USB DEVICE  √ LAN  √ HANDLER  √

產品(pǐn)型(xíng)號TH511TH512TH513

通道(dào)數2（可選配4/6通道）1

顯(xiǎn)示(shì)顯示(shì)器(qì)10.1英寸(對角綫)電(diàn)容觸摸屏

比例16:9

分辨(biàn)率1280×RGB×800

測量(liáng)參(cān)數CISS，COSS，CRSS，Rg，四(sì)參數(shù)任意選擇

測試頻(pín)率範(fàn)圍1kHz-2MHz

精度(dù)0.01%

分(fēn)辨率(shuài)10mHz1.00000kHz-9.99999kHz

100mHz10.0000kHz-99.9999kHz

1Hz100.000kHz-999.999kHz

10Hz1.00000MHz-2.00000MHz

測試電平電壓範(fàn)圍(wéi)5mVrms-2Vrms

準(zhǔn)確度±（10%×設(shè)定值+2mV）

分辨率(shuài)1mVrms0.5Vrms-1Vrms

10mVrms1Vrms-2Vrms

VGS電壓範圍0 -   ±40V

準確度1%×設定電(diàn)壓+8mV

分辨(biàn)率(shuài)1mV0V - ±10V

10mV±10V - ±40V

VDS電(diàn)壓(yā)範(fàn)圍0 -   ±200V0 -   ±1500V0 -   ±3000V

準確度(dù)1%×設定(dìng)電(diàn)壓+100mV

輸出阻抗100Ω，±2%@1kHz

數學運算與標(biāo)稱值的(dí)絕對偏差(chà)Δ，與標(biāo)稱(chēng)值的百分(fēn)比偏差Δ%

校準(zhǔn)功(gōng)能(néng)開路(lù)OPEN，短路SHORT，負(fù)載(zǎi)LOAD，夾(jiā)具(jù)校(xiào)準(zhǔn)

測(cè)量(liáng)平(píng)均(jūn)1-255次(cì)

AD轉換(huàn)時(shí)間(jiān)（ms/次）快(kuài)速(sù)+
：2.5ms(＞5kHz)

快速
：11ms,

中(zhōng)速(sù)
：90ms

慢速
：220ms

最高準確(què)度(dù)0.5%（具(jù)體(tǐ)參(cān)考(kǎo)說明書）

CISS，COSS，CRSS0.00001pF   - 9.99999F

Rg0.001mΩ   - 99.9999MΩ

Δ%±（0.000% - 999.9%）

多功(gōng)能(néng)參(cān)數(shù)列表(biǎo)掃描點(diǎn)數50點，每個(gè)點(diǎn)可設置(zhì)平均數(shù)，每個點(diǎn)可(kě)單獨分(fēn)選

參(cān)數(shù)測(cè)試頻率，Vg，Vd，通(tōng)道

觸(chù)發(fā)模(mó)式順序SEQ
：當(dāng)一次(cì)觸發後，在所(suǒ)有掃描點測量(liáng)，/EOM/INDEX隻(zhī)輸(shū)出(chū)一次(cì)

步(bù)進STEP
：每次(cì)觸(chù)發執行一個掃描點測(cè)量，每點均(jūn)輸出(chū)/EOM/INDEX，但(dàn)列表掃描(miáo)比(bǐ)較(jiào)器結果隻(zhī)在(zài)最(zuì)後的(dí)/EOM才輸出

圖形掃描掃(sǎo)描點(diǎn)數任意點可選，最多(duō)1001點(diǎn)

結果(guǒ)顯(xiǎn)示同(tóng)一(yī)參數(shù)，不同Vg的(dí)多條曲綫；同一Vg，不(bù)同參(cān)數多(duō)條(tiáo)曲(qū)綫

顯(xiǎn)示範圍(wéi)實時(shí)自(zì)動，鎖定

坐(zuò)標標(biāo)尺(chǐ)對數(shù)，綫性

掃(sǎo)描參(cān)數Vg，Vd，Freq

觸(chù)發方(fāng)式手動(dòng)觸(chù)發一(yī)次，從起點到終點(diǎn)一次(cì)掃描(miáo)完成，下(xià)個觸(chù)發信號(hào)啟動新一次掃描

結果保(bǎo)存(cún)圖形(xíng)，文(wén)件

比較器Bin分檔10Bin，PASS，FAIL

Bin偏(piān)差設置(zhì)偏差值，百分偏(piān)差值(zhí)，關

Bin模式(shì)容差

Bin計數(shù)0-99999

檔(dàng)判(pàn)別每檔最(zuì)多可設置四個(gè)參數(shù)極限(xiàn)範(fàn)圍，四個(gè)測(cè)試參(cān)數結(jié)果(guǒ)設檔範(fàn)圍(wéi)內顯示(shì)對應(yīng)檔號，超出設定最大檔號(hào)範(fàn)圍則顯(xiǎn)示(shì)FAIL，未設置上(shàng)下限(xiàn)的測試參數自(zì)動(dòng)忽略(lüè)檔判(pàn)別

PASS/FAIL指示滿(mǎn)足(zú)Bin1-10,前(qián)麵(miàn)板PASS燈(dēng)亮，否(fǒu)則(zé)FAIL燈(dēng)亮

存儲調(tiáo)用(yòng)內部約(yuē)100M非易(yì)失(shī)存儲(chǔ)器(qì)測試設(shè)定(dìng)文件(jiàn)

外置USB測(cè)試(shì)設定(dìng)文(wén)件(jiàn)，截(jié)屏圖形，記錄(lù)文件(jiàn)

鍵盤鎖定可鎖定前麵(miàn)板(bǎn)按鍵，其他(tā)功(gōng)能待(dài)擴充(chōng)

接口USB HOST2個(gè)USB HOST接口，可同(tóng)時(shí)接鼠標(biāo)，鍵盤，U盤同時(shí)隻(zhī)能使(shǐ)用一個

USB DEVICE通(tōng)用串行(háng)總(zǒng)綫(xiàn)插座，小(xiǎo)型(xíng)B類（4個接觸(chù)位(wèi)置）；與(yǔ)USB TMC-USB488和USB2.0相符合(hé)，陰接(jiē)頭(tóu)用於連接外部(bù)控(kòng)製器(qì)
。

LAN10/100M以(yǐ)太(tài)網(wǎng)，8引腳，兩種速(sù)度(dù)選擇(zé)

HANDLER用(yòng)於(yú)Bin分(fēn)檔信(xìn)號(hào)輸出(chū)

RS232C標準9針，交叉(chā)

RS485標(biāo)準(zhǔn)差分(fēn)綫

GPIB24針D-Sub端(duān)口（D-24 類），陰接頭(tóu)與IEEE488.1，2和(hé)SCPI兼容

開(kāi)機(jī)預熱時(shí)間(jiān)60分(fēn)鐘

輸入電(diàn)壓100-120VAC/198-242VAC可選擇(zé)，47-63Hz

功耗不小(xiǎo)於130VA

尺(chǐ)寸(cùn)（WxHxD）mm430x177x405

重量16kg

技術參數(shù) 

產品型號TH511 TH512 TH513

通道數2（可選(xuǎn)配(pèi)4/6通道(dào)）

顯(xiǎn)示(shì)

顯(xiǎn)示器10.1英寸(cùn)(對角(jiǎo)綫(xiàn))電(diàn)容觸摸(mō)屏

比例16:9

分辨率1280×RGB×800

測量(liáng)參數Ciss，

Coss，Crss，Rg，四(sì)參(cān)數任意選擇

測(cè)試頻率

範(fàn)圍(wéi)1kHz-2MHz

精(jīng)度0.01%

分(fēn)辨(biàn)率

10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz

 100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz

 1Hz 100.000kHz-999.999kHz

 10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz

測試電(diàn)平(píng)

電壓範(fàn)圍(wéi)5mVrms-1Vrms

準確(què)度(dù)±（10%×設(shè)定(dìng)值(zhí)+2mV）

分(fēn)辨率1mVrms 5mVrms-1Vrms

 VGS

電(diàn)壓

範圍(wéi)0 - ±40V

準確度1%×設(shè)定電(diàn)壓+8mV

分辨率

1mV 0V - ±10V

 10mV ±10V - ±40V

 VDS

電(diàn)壓(yā)範(fàn)圍0 - ±200V 0 - ±1500V 0 - ±3000V

準確(què)度1%×設定電壓+100mV

輸(shū)出阻抗100Ω，±2%@1kHz

數學運(yùn)算與標稱值的絕對偏差(chà)Δ，與標(biāo)稱(chēng)值的(dí)百分(fēn)比(bǐ)偏差Δ%

校準功能(néng)開路(lù)OPEN，短路SHORT，負載(zǎi)LOAD，夾(jiā)具(jù)校(xiào)準(zhǔn)

測量平(píng)均1-255次

AD轉換時(shí)間（ms/次）

快(kuài)速+
：2.5ms(＞5kHz)

快(kuài)速
：11ms

中(zhōng)速
：90ms

慢速
：220ms

最高(gāo)準確度(dù)0.5%（具體參(cān)考(kǎo)說明書(shū)）

  Ciss，Coss，Crss 0.00001pF - 9.99999F

 Rg 0.001mΩ - 99.9999MΩ

 Δ% ±（0.000% - 999.9%）

多功能參數

列(liè)表掃描

點數50點，每個點(diǎn)可設置(zhì)平均(jūn)數，每個點可單(dān)獨分(fēn)選

參數(shù)測(cè)試(shì)頻(pín)率(shuài)，Vg，Vd，通(tōng)道

觸發模式(shì)

順序(xù)SEQ
：當一(yī)次觸發後(hòu)，在(zài)所有掃(sǎo)描點測量，/EOM/INDEX隻輸(shū)出一次

步進STEP
：每次(cì)觸發(fā)執行(háng)一(yī)個掃(sǎo)描(miáo)點(diǎn)測量，每點均(jūn)輸出/EOM/INDEX，但列(liè)表掃描比(bǐ)較器結果(guǒ)隻(zhī)在(zài)最(zuì)

後(hòu)的(dí)/EOM才輸出

圖形掃(sǎo)描

掃(sǎo)描(miáo)點數(shù)任意點可選(xuǎn)，最多(duō)1001點(diǎn)

結(jié)果(guǒ)顯(xiǎn)示(shì)同一(yī)參數，不同Vg的(dí)多條曲綫；同(tóng)一Vg，不(bù)同(tóng)參(cān)數多(duō)條曲綫 

顯(xiǎn)示範(fàn)圍實(shí)時自(zì)動(dòng)，鎖定

坐(zuò)標標(biāo)尺對數(shù)，綫(xiàn)性(xìng)

掃描參(cān)數(shù)Vg，Vd

觸(chù)發(fā)方(fāng)式(shì)手(shǒu)動(dòng)觸發一次(cì)，從(cóng)起(qǐ)點到終點(diǎn)一(yī)次掃描完成，下個觸發信號啟(qǐ)動(dòng)新(xīn)一(yī)次(cì)掃(sǎo)描

結果(guǒ)保(bǎo)存(cún)圖形(xíng)，文件

比(bǐ)較器

Bin分檔10Bin，PASS，FAIL

 Bin偏差設置(zhì)偏差(chà)值(zhí)，百分偏差(chà)值，關(guān)

Bin模式(shì)容差

Bin計數0-99999

檔(dàng)判(pàn)別(bié)每檔最(zuì)多可設置(zhì)四個參數極限(xiàn)範(fàn)圍(wéi)，四(sì)個測(cè)試參(cān)數結果設(shè)檔範圍內顯示對(duì)應檔(dàng)號(hào)，超(chāo)出設定最大檔號

範圍則顯示FAIL，未(wèi)設置(zhì)上下限(xiàn)的測試參數(shù)自動(dòng)忽(hū)略檔(dàng)判別(bié)

PASS/FAIL指示滿足Bin1-10,前(qián)麵板PASS燈(dēng)亮(liàng)，否則FAIL燈亮

存儲調用(yòng)內部約100M非(fēi)易(yì)失存(cún)儲器測(cè)試設定(dìng)文件(jiàn)

外置USB測試設定文件，截屏(píng)圖形，記錄文(wén)件

鍵(jiàn)盤鎖定(dìng)可鎖定(dìng)前麵板(bǎn)按鍵(jiàn)，其他功能待(dài)擴充

接(jiē)口

USB HOST 2個USB HOST接(jiē)口，可同時接鼠(shǔ)標，鍵盤，U盤(pán)同(tóng)時(shí)隻(zhī)能(néng)使用一(yī)個

USB DEVICE通用串行(háng)總綫(xiàn)插座(zuò)，小型(xíng)B類（4個接(jiē)觸位(wèi)置(zhì)）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合(hé)，陰接(jiē)頭用於(yú)連(lián)接外(wài)部控製器
。

LAN 10/100M以(yǐ)太(tài)網，8引腳，兩種(zhǒng)速度(dù)選(xuǎn)擇

HANDLER用(yòng)於Bin分(fēn)檔信(xìn)號(hào)輸(shū)出

RS232C標準9針，交叉

RS485標準(zhǔn)差分(fēn)綫(xiàn)

GPIB 24針(zhēn)D-Sub端(duān)口(kǒu)（D-24 類），陰(yīn)接(jiē)頭與IEEE488.1，2和(hé)SCPI兼容(róng)

開機(jī)預熱(rè)時間60分(fēn)鐘(zhōng)

輸入電壓100-120VAC/198-242VAC可(kě)選(xuǎn)擇，47-63Hz

供電(diàn)電源(yuán)功率不(bù)小於130VA

尺寸(cùn)（WxHxD）mm 430x177x405

重(zhòng)量16kg

隨機附件

電源綫(xiàn)一(yī)根(gēn)

TH26063B 測試夾(jiā)具(jù)    （僅TH511和(hé)TH512）

TH26063C 測(cè)試夾具(jù)    （僅(jǐn)TH511和(hé)TH512）

TH26063D 連接電纜(lǎn)    （僅TH511和(hé)TH512）

TH26063G 測試延長綫(xiàn)（僅TH511和(hé)TH512）

TH26071C USB轉(zhuǎn)RC232通(tōng)訊綫纜(lǎn)

TH513-1   測(cè)試(shì)夾(jiā)具(jù)    （僅(jǐn)TH513） 

簡(jiǎn)介

TH510係列半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)C-V特(tè)性分析(xī)儀是常(cháng)州同(tóng)惠電子根據當(dāng)前半導(dǎo)體功(gōng)率(shuài)器件發(fā)展(zhǎn)趨勢，針(zhēn)對(duì)半(bàn)導(dǎo)體材料(liào)及功(gōng)率器件設計的分析儀(yí)器
。

儀(yí)器采用(yòng)了(liǎo)一體化集(jí)成設計，二極管，三極(jí)管，MOS管及IGBT等半(bàn)導體(tǐ)功(gōng)率器件(jiàn)寄(jì)生(shēng)電容(róng)，CV特性可一鍵測試(shì)，無(wú)需(xū)頻繁切換(huàn)接綫及設置參(cān)數，單(dān)管(guǎn)功率(shuài)器件及模組功率器(qì)件(jiàn)均可一鍵(jiàn)快速(sù)測試，適(shì)用於生(shēng)產(chǎn)綫快速測試(shì)，自動化(huà)集成
。

CV曲(qū)綫(xiàn)掃描分析(xī)能力亦(yì)能(néng)滿(mǎn)足實(shí)驗室對半導體(tǐ)材(cái)料及功(gōng)率器(qì)件的(dí)研發(fā)及分析(xī)（此功(gōng)能(néng)為選(xuǎn)件）
。

儀(yí)器(qì)設計(jì)頻(pín)率為1kHz-2MHz，Vgs電(diàn)壓(yā)可(kě)達(dá)±40V，VDS電(diàn)壓(yā)可(kě)達±200V/±1500V/±3000V，足(zú)以(yǐ)滿(mǎn)足(zú)大(dà)多數(shù)功率器(qì)件測(cè)試(shì)
。

功(gōng)能(néng)特(tè)點(diǎn)

A.一(yī)體化測(cè)試(shì)，集(jí)成度(dù)高(gāo)，體積小(xiǎo)，效(xiào)率高

   一(yī)台(tái)儀器內置(zhì)了LCR數字(zì)電(diàn)橋(qiáo)，VGS電壓(yā)源(yuán)，VDS電壓源，高低壓切換矩陣(zhèn)以(yǐ)及(jí)上位機軟(ruǎn)件(jiàn)，將復(fù)雜的接綫，繁(fán)瑣的操(cāo)作集成在(zài)支持(chí)電(diàn)容(róng)式觸(chù)摸(mō)的(dí)Linux係(xì)統(tǒng)內，操(cāo)作(zuò)更簡(jiǎn)單(dān)
。特(tè)別(bié)適(shì)合(hé)產綫(xiàn)快速化，自(zì)動化測試
。

B.單(dān)管器(qì)件測試(shì)，10.1寸(cùn)大屏，四種寄生參數(shù)同(tóng)屏(píng)顯示(shì)，讓(ràng)細節(jié)一覽(lǎn)無(wú)遺(yí)

   MOSFET或(huò)IGBT最(zuì)重要(yào)的四(sì)個寄(jì)生參(cān)數
：Ciss，Coss，Crss，Rg，Cies，Coes，Cres，Rg均可(kě)一鍵(jiàn)測(cè)試，10.1寸大屏可(kě)同(tóng)時將測(cè)量(liáng)結果(guǒ)，等效(xiào)電路(lù)圖(tú)，分(fēn)選(xuǎn)結果(guǒ)等重要(yào)參(cān)數同(tóng)時(shí)顯示，一(yī)目了(liǎo)然
。

   一(yī)鍵測(cè)試(shì)單(dān)管器件器(qì)件時，無需頻繁切換(huàn)測試(shì)腳(jiǎo)位，測(cè)量參數，測(cè)量(liáng)結(jié)果，大大提高了(liǎo)測(cè)試(shì)效率
。

C.列表(biǎo)測試(shì)，多個，多(duō)芯(xīn)，模組器(qì)件(jiàn)測量(liáng)參數(shù)同屏顯(xiǎn)示

   TH510係列(liè)半(bàn)導體(tǐ)C-V特(tè)性分(fēn)析(xī)儀支持最多6個(gè)單管器(qì)件，6芯器(qì)件或6模(mó)組(zǔ)器件測試，所(suǒ)有(yǒu)測(cè)量(liáng)參(cān)數通(tōng)過列表(biǎo)掃描(miáo)模式(shì)同時顯示(shì)測(cè)試(shì)結果(guǒ)及(jí)判(pàn)斷(duàn)結果(guǒ)
。

D.曲綫掃描功能(néng)（選件）

   在MOSFET的(dí)參數(shù)中(zhōng)，CV特(tè)性(xìng)曲綫(xiàn)也(yě)是一個非常重要的(dí)指(zhǐ)標(biāo)，如(rú)下(xià)圖

   TH510係(xì)列半導體C-V特性分析(xī)儀(yí)支持(chí)C-V特(tè)性曲(qū)綫分析(xī)，可(kě)以以對數，綫性兩(liǎng)種(zhǒng)方(fāng)式(shì)實(shí)現曲(qū)綫(xiàn)掃(sǎo)描，可同時顯(xiǎn)示多條曲綫
：同一(yī)參數，不(bù)同(tóng)Vg的(dí)多條曲綫(xiàn)；同一Vg，不同參數多(duō)條曲綫
。

   TH510係列同(tóng)時支(zhī)持(chí)多種(zhǒng)曲(qū)綫(xiàn)掃(sǎo)描(miáo)模型(xíng)

   曲(qū)綫支持(chí)散點標記及(jí)粗(cū)細調(tiáo)節

   Ciss-Rg曲綫掃描

E.Cs-V功(gōng)能,二極(jí)管結電容(róng)CV特性測試分析

    得益於TH510係列功率器(qì)件CV特性(xìng)分析儀內(nèi)置了(liǎo)2路直(zhí)流電源，使(shǐ)二(èr)極管的CV特性分析成為可能，Cs-V功能可用於(yú)測試各(gè)種二極(jí)管(guǎn)的結電容(róng)，並(bìng)可分析二極管的(dí)CV特性(xìng)
。

F.等效模式轉換(huàn)

   TH510係列(liè)功率器件CV特性分(fēn)析(xī)儀(yí)測(cè)試結果(guǒ)的電(diàn)容C均(jūn)為串(chuàn)聯模(mó)式Cs，對於部分(fēn)需求(qiú)測試並(bìng)聯(lián)模式(shì)Cp需(xū)求的客戶，可(kě)自行切(qiē)換

G. 多種(zhǒng)獨(dú)特(tè)技(jì)術(shù)，解(jiě)決自動化(huà)配套(tào)測試痛點

       在配(pèi)套自動化設備或者(zhě)產(chǎn)綫(xiàn)時(shí)，經(jīng)常(cháng)會遇(yù)到下列問(wèn)題，同惠針(zhēn)對多(duō)種情況進行(háng)了(liǎo)優化
。

       1）獨特技術(shù)解(jiě)決Ciss，Coss，Crss，Rg產綫(xiàn)/自(zì)動化係(xì)統(tǒng)高速測(cè)試(shì)精度

同(tóng)惠電(diàn)子在(zài)電(diàn)容測試行(háng)業近(jìn)30年(nián)的(dí)經(jīng)驗(yàn)積累，得(dé)以在產綫(xiàn)，自動化測(cè)試等高速高(gāo)精度測(cè)試(shì)場合(hé)，都(dū)能保(bǎo)證電容(róng)，電(diàn)阻等(děng)測(cè)試精度(dù)
。

常(cháng)規(guī)產綫測(cè)試(shì)，提供標準0米(mǐ)測試夾(jiā)具，直(zhí)插器(qì)件(jiàn)可直接插入進(jìn)行測試(shì)，Ciss，Coss，Crss，Rg測(cè)試精(jīng)度(dù)高
。                   image.png        

針對(duì)自(zì)動化(huà)測(cè)試，由於(yú)自動化設(shè)備測試(shì)工裝通常(cháng)需要(yào)較(jiào)長連接綫(xiàn)，大多自(zì)動化設備生產(chǎn)商(shāng)在延長測(cè)試綫時會帶來(lái)很大的(dí)精(jīng)度偏差(chà)，為此，同惠(huì)設(shè)計了(liǎo)獨(dú)特(tè)的(dí)2米延(yán)長(cháng)綫(xiàn)並內(nèi)置了(liǎo)2米校(xiào)準，保(bǎo)證Ciss，Coss，Crss，Rg測(cè)試精度(dù)和(hé)0米(mǐ)測試夾(jiā)具一致(zhì)
。

       2）接(jiē)觸(chù)檢(jiǎn)查（Contact）功能，提(tí)前(qián)排除自動化測試隱患(huàn)

在(zài)高(gāo)速測試(shì)特別(bié)是自(zì)動(dòng)化測試(shì)中(zhōng)，經(jīng)常會由於快速插拔(bá)或(huò)閉合，造成測(cè)試治具或(huò)工裝(zhuāng)表(biǎo)麵(miàn)磨(mó)損，引(yǐn)綫(xiàn)斷裂(liè)而(ér)接(jiē)觸(chù)不良(liáng)，接(jiē)觸不(bù)良(liáng)的造成的(dí)最直接後(hòu)果是誤判測試(shì)結果而(ér)難以(yǐ)發現(xiàn)，在(zài)廢品率突然增加(jiā)或發(fā)出產品故(gù)障(zhàng)原(yuán)因(yīn)退回(huí)時才(cái)會發(fā)現，因此是一個極大(dà)的(dí)隱(yǐn)患
。

同惠TH510係(xì)列(liè)半導(dǎo)體C-V特(tè)性(xìng)分析儀采(cǎi)用(yòng)了獨(dú)特的(dí)硬件(jiàn)測(cè)試(shì)方法，采用(yòng)了四(sì)端測量(liáng)法，每(měi)個腳(jiǎo)位(wèi)均(jūn)有(yǒu)兩根綫(xiàn)連接，若任意(yì)一(yī)根(gēn)綫(xiàn)斷裂(liè)或者(zhě)接(jiē)觸點(diǎn)接觸不(bù)良，均可及時(shí)發(fā)現(xiàn)並提供(gōng)接觸不良點(diǎn)提(tí)示(shì)，儀器自(zì)動停(tíng)止測試(shì)，等(děng)待進一(yī)步處(chǔ)理(lǐ)
。

保障(zhàng)了(liǎo)結果(guǒ)的準(zhǔn)確性，同時利於客戶(hù)及(jí)時發現問(wèn)題，避(bì)免了不良(liáng)品率提高及故(gù)障(zhàng)品(pǐn)退(tuì)回(huí)等帶(dài)來(lái)的損失
。

       3）快速通斷測試（OP_SH）,排(pái)除損壞器件

在(zài)半導體器(qì)件(jiàn)特(tè)性(xìng)測試(shì)時(shí)，由於半器(qì)件本身是損壞(huài)件(jiàn)，特(tè)別是多(duō)芯(xīn)器件其(qí)中一個芯(xīn)已經(jīng)損壞(huài)的情況(kuàng)下(xià)，測試雜(zá)散電容仍(réng)有可(kě)能被判(pàn)斷(duàn)為合格，而半導體器件的導通(tōng)特性(xìng)才是(shì)最重(zhòng)要的特性
。

因此(cǐ)，對於本身(shēn)導通特性不良的產品進(jìn)行C-V特(tè)性測試(shì)是(shì)沒有必要的(dí)，不僅僅浪費了(liǎo)測量(liáng)時(shí)間，同時會由於C-V合(hé)格而混雜在(zài)良品裏，導致(zhì)成品(pǐn)出貨(huò)後被(bèi)退回(huí)帶(dài)來(lái)損(sǔn)失
。

TH510係列(liè)半導體C-V特性分析(xī)儀提(tí)供(gōng)了快速(sù)通斷(duàn)測試(shì)（OP_SH）功(gōng)能,可(kě)用於(yú)直(zhí)接(jiē)判(pàn)斷器件本(běn)身導通性(xìng)能
。

       4）Crss+Plus功(gōng)能，解決自動化測試係(xì)統(tǒng)高頻下Crss負(fù)值(zhí)問(wèn)題      

Crss電(diàn)容通常在pF級(jí)，容量(liáng)較小，測試是個難題(tí)
。

而(ér)在自動化(huà)測試係統(tǒng)中(zhōng)，由(yóu)於(yú)過多的轉(zhuǎn)接開(kāi)關，過(guò)長測測試(shì)引(yǐn)綫等帶(dài)來的(dí)寄(jì)生參(cān)數
。

因此(cǐ)，測(cè)試(shì)Crss，特別是在(zài)高頻(pín)測(cè)試(shì)時通(tōng)常(cháng)會(huì)出現負值，

同惠電子憑(píng)借(jiè)在(zài)電容(róng)器測試行(háng)業(yè)30年的技術及經驗積累，采(cǎi)用獨特(tè)的算(suàn)法的Crss Plus模(mó)式，可保(bǎo)證即使是(shì)在自動(dòng)化(huà)測試係統(tǒng)中，高頻下(xià)也能測的正確的結果
。

       5）漏(lòu)源高壓(yā)擊穿保護技術，防止(zhǐ)損壞(huài)測(cè)試(shì)儀(yí)器

在測試(shì)功率器(qì)件(jiàn)電容時，漏(lòu)極D通常(cháng)會加(jiā)上高(gāo)壓(yā)，特別(bié)是第(dì)三(sān)代功率(shuài)半導體器(qì)件，電(diàn)壓甚(shèn)至可高(gāo)達1000V-3000V，當漏(lòu)源(yuán)瞬間擊穿時(shí)，常會(huì)導(dǎo)致(zhì)電容(róng)器(qì)瞬間(jiān)短(duǎn)路(lù)放電(diàn)，在漏(lòu)源(yuán)電壓1500V時，放電(diàn)電流(liú)可高達780A，如(rú)此大(dà)的瞬間(jiān)電流，會(huì)反(fǎn)衝(chōng)至儀器內部電路，並導(dǎo)致(zhì)損壞
。

同惠(huì)高壓(yā)擊穿(chuān)保護技(jì)術，解決了(liǎo)此隱患，避(bì)免(miǎn)經常由於(yú)高壓衝(chōng)擊損壞(huài)儀器(qì)，降低了維(wéi)修成(chéng)本(běn)的同(tóng)時(shí)提(tí)高(gāo)了(liǎo)自(zì)動化(huà)測(cè)試(shì)的效(xiào)率(shuài)
。

       6）Interlock互(hù)鎖功(gōng)能，確保(bǎo)高壓下操作環境(jìng)安(ān)全(quán)（僅TH513）

在(zài)測(cè)試(shì)功率器件需施(shī)加高(gāo)壓(yā)，因(yīn)此(cǐ)對於操作(zuò)者(zhě)及其他設備的(dí)安全隔(gé)離非常(cháng)重要，特別(bié)是在自(zì)動化產(chǎn)綫(xiàn)，通(tōng)常(cháng)會將高壓(yā)設備放置在(zài)一(yī)個(gè)隔離的環(huán)境(jìng)，並(bìng)通過(guò)安全門開(kāi)啟(qǐ)關閉(bì)來(lái)保(bǎo)證操作者的安全
。

TH510係(xì)列(liè)功率器(qì)件CV特性(xìng)分析儀配置了(liǎo)Interlock接(jiē)口，可(kě)與(yǔ)安全門(mén)開關連接(jiē)，在安(ān)全門(mén)開(kāi)啟時切(qiē)斷高壓(yā)輸(shū)出(chū)並禁(jīn)止(zhǐ)儀器啟動(dòng)，隻有(yǒu)關閉後(hòu)才能正常工(gōng)作(zuò)
。確(què)保(bǎo)了操作者(zhě)和設(shè)備的安全
。

       7）模(mó)組式器(qì)件(jiàn)設置，支持定(dìng)製(zhì)

針對(duì)模(mó)組(zǔ)式器件(jiàn)如(rú)雙路（Dual）MOSFET，多(duō)組(zǔ)式(shì)IGBT，有(yǒu)些器件(jiàn)會有不同(tóng)類型(xíng)芯片混(hùn)合(hé)式(shì)封裝，TH510係列(liè)CV特性分析儀針(zhēn)對此情況(kuàng)做了(liǎo)優(yōu)化(huà)，常(cháng)見模組式芯片Demo已(yǐ)內(nèi)置，特殊芯片(piàn)支(zhī)持定製(zhì)
。

       8）10檔分(fēn)選(xuǎn)及可編(biān)程(chéng)HANDLER接口

儀器(qì)提(tí)供了(liǎo)10檔(dàng)分選，為客戶產品質(zhì)量(liáng)分級(jí)提(tí)供(gōng)了(liǎo)可能(néng)，分(fēn)選(xuǎn)結(jié)果直(zhí)接(jiē)輸出至(zhì)HANDLER接(jiē)口(kǒu)

在與自動化(huà)設(shè)備連(lián)接時，怎麼配(pèi)置HANDLER接口輸(shū)出，一直是自動化客戶(hù)的(dí)難題，TH510係(xì)列(liè)LCR將(jiāng)HANDLER接口腳(jiǎo)位(wèi)，輸入輸(shū)出(chū)方式(shì)，對(duì)應(yīng)信(xìn)號，應答(dá)方(fāng)式(shì)等可(kě)視化，讓(ràng)自動(dòng)化連接(jiē)更(gēng)簡單
。

TH512國(guó)產(chǎn)半(bàn)導體參數分析(xī)儀規格參數(shù)指(zhǐ)標(biāo)