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上(shàng)海(hǎi)堅融實業實驗(yàn)納米(mǐ)級材料和(hé)器(qì)件(jiàn)開發測試(shì)方案(àn)

日(rì)期(qī)：2014-06-13瀏覽：2214次(cì)

    納(nà)米級材料和(hé)器件(jiàn)的製造通常(cháng)始於化學(xué)，生(shēng)物學或半導(dǎo)體器件 / 微電子(zǐ)實驗室。納(nà)米級(jí)材(cái)料(liào)和(hé)器件的電(diàn)氣測(cè)量不僅揭(jiē)示了電特(tè)性，還揭示了納米微粒(lì)的(dí)狀態(tài)密度等(děng)一(yī)般(bān)特(tè)性。這(zhè)些基本特性可(kě)用於預測(cè)和控(kòng)製物(wù)理特(tè)性，例如抗拉(lā)強(qiáng)度，顏色以及電導性(xìng)和導熱(rè)性。然而，進(jìn)行(háng)有意(yì)義的測量需要高(gāo)靈敏(mǐn)度的(dí)儀器以(yǐ)及(jí)復雜的(dí)探(tàn)頭技術(shù)。於納(nà)米(mǐ)技術研究的儀器不斷增加，但是用戶(hù)必(bì)須(xū)了(liǎo)解所(suǒ)需的(dí)測(cè)量類(lèi)型(xíng)，以及哪(nǎ)種(zhǒng)測(cè)試(shì)係統特點將(jiāng)增加(jiā)速度和準確(què)度。上海(hǎi)堅融(róng)實業有限公(gōng)司致力於實驗納米級(jí)材(cái)料和(hé)器(qì)件(jiàn)的(dí)開發(fā)測試方(fāng)案，芝加哥大(dà)學K. Elteto 和 X.M. Lin指(zhǐ)出由(yóu)一(yī)係(xì)列(liè)金(jīn)納米粒子(zǐ)形成(chéng)的(dí)器(qì)件開(kāi)發過(guò)程(chéng)中，類似納米(mǐ)綫，碳(tàn)納米管(guǎn)和(hé)納米(mǐ)晶(jīng)體的結(jié)構常常表(biǎo)現出(chū)與眾(zhòng)不(bù)同(tóng)的特點(diǎn)。分析這(zhè)些特點而(ér)不(bù)損壞*的結(jié)構需(xū)要能(néng)對源(yuán)進行嚴格(gé)控(kòng)製的係統，以防止(zhǐ)器(qì)件自發熱(rè)。吉(jí)時利測量(liáng)儀(yí)器將這(zhè)種嚴格(gé)控製(zhì)與(yǔ)超快測量(liáng)速度和(hé)靈(líng)敏度結(jié)合在(zài)靈(líng)活，模塊化的結構中(zhōng)從而很容(róng)易(yì)適(shì)應(yīng)不斷變化(huà)的測試要求(qiú)。

    低(dī)電(diàn)平脈(mài)衝(chōng)測量涉及(jí)輸(shū)出(chū)電(diàn)流脈衝並(bìng)測(cè)量(liáng)所(suǒ)產生(shēng)的電(diàn)壓。因為(wéi)美(měi)國(guó)吉時利KEITHLEY6221/2812A的組合(hé)用於(yú)解(jiě)決在低(dī)信號電(diàn)平，低電平噪(zào)聲條件(jiàn)下(xià)的脈衝特性(xìng)分(fēn)析(xī)問(wèn)題。然(rán)而，6221/2182A恒(héng)流源組(zǔ)合(hé)與(yǔ)以(yǐ)往(wǎng)所有的測(cè)試(shì)配(pèi)置(zhì)在(zài)一些(xiē)重要(yào)方麵(miàn)不相(xiāng)同(tóng)。一(yī)個(gè)區別是所(suǒ)有(yǒu)脈衝測量(liáng)都是差(chà)分 (或相對(duì)) 測量。這意味著會給(gěi)測(cè)量信號增加(jiā)誤差 (例如(rú)偏移，漂(piāo)移，噪(zào)聲(shēng)和熱(rè)電(diàn)的(dí) EMF) 的背景電(diàn)壓被消(xiāo)除(chú)了(liǎo)。

由於熱電(diàn)壓和(hé)儀表(biǎo)偏(piān)移(yí)產生(shēng)的直流偏(piān)移會(huì)給測量的(dí)電壓(yā)帶來(lái)嚴重(zhòng)誤差。

使(shǐ)用 delta 模式測(cè)量技術消除偏(piān)移。

    進(jìn)行相(xiāng)對測(cè)量(liáng)消(xiāo)除偏移誤差(chà)。
測(cè)量(liáng)的(dí) delta 電壓對電流脈(mài)衝(chōng)產生正確的(dí)電壓(yā)響應。
兩(liǎng)點 delta 模式測量的(dí)操作(zuò)是(shì)輸出(chū)電流脈衝並且在每次脈衝之(zhī)前和(hé)脈衝期(qī)間各進(jìn)行(háng)一(yī)次(cì)測量(liáng)。得到這兩(liǎng)次測(cè)量的(dí)差(chà)值(zhí)就(jiù)消除了任何(hé)恒(héng)定的熱(rè)電偏移，保留了(liǎo)真(zhēn)實(shí)的電壓(yā)值(zhí)。然而，兩點(diǎn)測量法(fǎ)不能消除隨時間漂(piāo)移的熱電(diàn)偏移。使用 delta 方(fāng)法中(zhōng)的第三個測量點就能消除(chú)漂移的偏(piān)移量。

    一(yī)種可(kě)選的第三(sān)個測量點能(néng)幫助消(xiāo)除移動的偏移(yí)量。
第三個(gè)測量點(diǎn)是(shì)可選(xuǎn)的(dí)，但是並不可取(qǔ)。例如，取(qǔ)決(jué)於器件的定(dìng)時特性(xìng)，如果輸出的電流(liú)脈(mài)衝對(duì)器件(jiàn)有(yǒu)長(cháng)期(qī)效應，那(nà)麼由於(yú) DUT 脈(mài)衝(chōng)帶(dài)來的熱(rè)量，用(yòng)於(yú)取消移動偏移的第三(sān)測量點可(kě)能(néng)包(bāo)含(hán)誤差(chà)，因此弊大(dà)於(yú)利。

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